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    “中國芯”關鍵材料國產化

    1,2-二(三氯甲硅基)乙烷(BTCSE)
    • 英文名: 1,2-Bis(trichlorosilyl)ethane (簡稱BTCSE)
    • 熔點: 28℃
    • 沸點: 202℃
    • 蒸氣壓: 0.492mmHg at 25℃
    • 存儲溫度: 安全溫度≤51℃,建議儲存溫度0-25℃
    • 產品等級: Adduct
    叔丁基膦(TBP)
    • 英文名: Tertiarybutylphosphine (簡稱TBP)
    • 熔點: 4℃
    • 沸點: 54℃
    • 蒸氣壓: lgp(Torr) = 7.552-1529/T(K)
    • 存儲溫度: 安全溫度≤37℃
    • 產品等級: Adduct
    四氯化鉿(HfCl?)
    • 英文名: Hafnium(IV) chloride (簡稱HfCl?)
    • 熔點: 無資料
    • 沸點: 46℃
    • 升華溫度:319℃
    • 蒸氣壓: 1mm Hg(190℃)
    • 存儲溫度: 安全溫度≤51℃,建議儲存溫度0-25℃
    • 產品等級: Adduct
    三氯化鋁(AlCl?)
    • 英文名: Aluminium chloride
    • 熔點: 194℃
    • 沸點: 180℃
    • 蒸氣壓: 133.3Pa(99℃); 13.3KPa(151℃)
    • 儲存溫度:未體現
    • 產品等級: Adduct
    四(甲乙氨基)鋯(TEMAZ)
    • 英文名: Tetrakis(Ethylmethylamino)Zirconium(簡稱TEMAZ)
    • 熔點: 無資料
    • 沸點: 81℃ (0.1hPa)
    • 蒸氣壓: 1 Torr at 70℃
    • 存儲溫度: 安全溫度≤51℃,建議儲存溫度0-25℃
    • 產品等級: Adduct
    四(甲乙氨基)鉿(TEMAH)
    • 英文名: Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(簡稱TEMAH)
    • 熔點: < -50℃
    • 沸點: 79℃/ 0.1 Torr
    • 蒸氣壓: 0.05 Torr at 75℃
    • 存儲溫度: 安全溫度≤51℃,建議儲存溫度0-25℃
    • 產品等級: Adduct
    四(二甲氨基)鉿(TDMAH)
    四(二甲氨基)鉿(TDMAH)
    • 英文名: Tetrakis(dimethylamido)hafnium
    • CAS號: 19782-68-4
    • 熔點: 26-29℃
    • 沸點: 60℃(0.01hPa)
    • 蒸氣壓: lgp(Torr) = 9.99-3377/T(K)
    • 存儲溫度: ≤51℃
    • 產品等級: Adduct
    • 規格: 50g/100g/200g
    四(二甲氨基)錫(TDMASn)
    四(二甲氨基)錫(TDMASn)
    • 英文名: Tetrakis(dimethylamino)tin
    • CAS號:1066-77-9
    • 熔點: NA
    • 沸點: 54℃ at 0.1 Torr
    • 蒸氣壓: 0.2 Torr at 300 K
    • 存儲溫度: ≤51℃
    • 產品等級: Adduct
    • 規格: 50g/100g
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