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三甲硅烷基胺（TSA）

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三甲硅烷基胺（TSA）

中文名：三甲硅烷基胺
英文名：Trisilylamine
CAS號：13862-16-3
用途：通過流動化學氣相沉積（FCVD）形成氧化硅
純度指標：99.65%
規格：公斤級

二異丙氨基硅烷（DIPAS）

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二異丙氨基硅烷（DIPAS）

中文名：二異丙氨基硅烷
英文名：Diisopropylaminosilane
CAS號：908831-34-5
用途：通過化學氣相沉積（CVD）形成含硅薄膜
純度指標：8N
規格：公斤級

三乙硅烷基胺（TDSA）

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三乙硅烷基胺（TDSA）

中文名：三乙硅烷基胺
英文名：Trisdisilanylamine
CAS號：14635-45-1
純度：≥98.0%
用途：通過化學氣相沉積（CVD）或原子層沉積（ALD）形成含硅薄膜
規格：公斤級

1，1，1-三（二甲氨基）乙硅烷（TADS）

1，1，1-三（二甲氨基）乙硅烷（TADS）

中文名：1，1，1-三（二甲氨基）乙硅烷
英文名：1，1，1-Tris(dimethylamino)disilane
CAS號：2273763-87-2
純度：≥99.0%
用途：通過等離子體加強原子層沉積（PEALD）形成高密度氧化硅
規格：公斤級

二異丙氨基乙硅烷（DPDS）

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二異丙氨基乙硅烷（DPDS）

中文名：二異丙氨基乙硅烷
英文名：Diisopropylaminodisilane
CAS號：151625-25-1
純度：≥99.0%
用途：通過氣相沉積形成晶種層
規格：公斤級

1，1-二氯-1-二異丙氨基乙硅烷（DCDADS）

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1，1-二氯-1-二異丙氨基乙硅烷（DCDADS）

中文名：1，1-二氯-1-二異丙氨基乙硅烷
英文名：1，1-Dichloro-1-diisopropylaminodisilane
CAS號：2152681-89-3
純度：≥99.0%
用途：通過等離子體加強原子層沉積（PEALD）形成氮化硅
規格：公斤級

五氯乙硅烷（PCDS）

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五氯乙硅烷（PCDS）

中文名：五氯乙硅烷
英文名：Pentachlorodisilane
CAS號：31411-98-0
純度：≥99.0%
用途：通過等離子體加強原子層沉積（PEALD）形成氮化硅
規格：公斤級

1，1，1-三氯乙硅烷（3CDS）

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1，1，1-三氯乙硅烷（3CDS）

中文名：1，1，1-三氯乙硅烷
英文名：1，1，1-Trichlorodisilane
CAS號：78228-96-3
純度：≥99.0%
用途：通過等離子體加強原子層沉積（PEALD）形成氮化硅
規格：公斤級

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